微量定量定量供給:ミクロン粒子 超微量定量供給:ミクロン粒子(間欠運転,0.1 mg の制御は容易) 振動体による粉体の自己移流(振幅 100 μm,通常再生) 振動体による粉体の自己移流(振幅 0~120 μm,64倍速再生) 水平振動(スロー再生) 垂直振動(スロー再生) 回転振動(通常再生) 粗粒子の振動輸送(スロー再生) 微粒子の振動輸送(スロー再生) 凝集粒子の振動輸送(スロー再生)